蘇黎世SwissLitho公司與澳大利亞的EV Group公司共同開發(fā)出一種能夠制造納米級(jí)光學(xué)組件的新型納米壓印光刻(NIL)技術(shù)。此次合作建立在先前由IBM Research研發(fā)并獲得歐盟1760萬歐元資助的項(xiàng)目的基礎(chǔ)之上,將EV Group的“Hercules”系統(tǒng)...;
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