Nanoscribe是德國(guó)的3D打印機(jī)制造商,并為客戶提供軟件和光阻劑,該公司以納米級(jí)和微米級(jí)的微3D打印技術(shù)而聞名,他們不斷的創(chuàng)新以滿足客戶的需求。最近,他們?cè)诿绹?guó)的哈佛大學(xué)開了第一次用戶大會(huì),在大會(huì)上,Nanoscribe公司介紹了等離子體在該公司技術(shù)解決方案中的作用。
Nanoscribe指出,由于電子束光刻或激光直寫的作用,等離子體通常是平坦的分子表面,為此,該公司的Photonic Professional GT系統(tǒng)不僅能夠進(jìn)行立體光刻,還能夠使用等離子技術(shù)制造2.5D聚合物納米或微米結(jié)構(gòu),而該結(jié)構(gòu)可以進(jìn)行金屬化應(yīng)用。
那么使用這種等離子體技術(shù)可以做出什么令人印象深刻的事物呢?我們可以看到,下圖就是用很薄的金膜在分子尺度上制造的金字塔,以及一個(gè)蝕刻掩模樣品。
Nanoscribe最近發(fā)布的應(yīng)用說明也與該主題相關(guān),該說明書概括介紹了他們的3D打印機(jī),并稱他們的打印機(jī)能提供世界上最高的分辨率。據(jù)中國(guó)3D打印網(wǎng)了解,該3D打印機(jī)可以同時(shí)在無菌和非無菌環(huán)境中使用,Nanoscribe為科研需求開發(fā)出了這款高性能的硬件。無掩模光刻中可以同時(shí)使用硅片和玻璃。
等離子的作用可以通過以下方面來體現(xiàn):
制作完全吸收體——3D打印一個(gè)在中紅外光譜(MID-IR)中的超材料吸收器。用戶用它打印了四個(gè)魚叉狀鍍錫的共振器。因?yàn)楦采w了金屬膜,所以其導(dǎo)熱率高。
等離子彩色顯示——開發(fā)一個(gè)基于表面等離子體共振的、用于電子調(diào)節(jié)顏色的反射型顯示器,有用戶利用該功能制作了一個(gè)2.5D主圖案陣列的納米孔。Nanoscribe還提供了其他工藝,如納米壓印、鋁涂層和液晶放置等。
亞波長(zhǎng)的光聚焦——用戶制作了一個(gè)中空的金字塔,并用“新方法”鍍金。這種“新方法”是使用相對(duì)于亞波長(zhǎng)光聚焦的更強(qiáng)信號(hào)。
制作等離子納米天線——為用戶提供了一個(gè)更方便地制造等離子納米天線的方法,而不是采用電子束光刻。使用光子專業(yè)GT 3D打印機(jī),用戶能夠使聚合物形成圖案,然后制作一個(gè)蝕刻黃金掩模。
對(duì)于那些有興趣于微制造的人來說,Photonic Professional GT 3D打印機(jī)是一個(gè)很好的開始。通過簡(jiǎn)單的3D微打印工作流程,微小零件可以被快速地創(chuàng)建。據(jù)Nanoscribe介紹,這使得虛擬3D模型可以被用于醫(yī)學(xué)、光學(xué)、應(yīng)用流體學(xué)、機(jī)械學(xué)等諸多應(yīng)用。
Photonic Professional GT 3D打印機(jī)的其他亮點(diǎn)包括:
分辨率最高的商用微型3D打印機(jī)
基于振鏡技術(shù)的高速3D打印
精確的壓電技術(shù)
各種UV光致抗蝕劑的雙光子聚合(2PP)
普通的色調(diào)光致抗蝕劑的雙光子光刻
寫入?yún)^(qū)域的范圍可達(dá)100×100毫米
可通過高靈敏度顯微鏡相機(jī)來實(shí)時(shí)觀察印刷過程
用于3D打印工作流程的用戶友好軟件包
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