...機(jī);以微機(jī)電系統(tǒng)、傳感器、微納光學(xué)，精密醫(yī)療器件，柔性電子器件等為應(yīng)用對(duì)象，開展器件制造應(yīng)用實(shí)驗(yàn)，形成具有重大應(yīng)用前景的新型功能器件樣件，實(shí)現(xiàn)具有微納特征的三維結(jié)構(gòu)與功能一體化制造?？己酥笜?biāo)：結(jié)構(gòu)特征...;
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